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气体混合配比对多路气体按照要求的流量比例或浓度进行精确控制均匀混合的详细信息气体传输:2-8种气体 , Swagelok卡套连接 控制阀动作型式:常闭式 响应时间(sec):1S 工作压差:0.05~0.5MPA 最大耐压:3MPA 采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制,并且不会受到温度及压力变化的影响 标准状态规定为: 标准温度………………0℃(273.15K) 标准压强………………101325Pa
精确控制两种不同气体流量大小,使用其按不同比例(量)均匀混合,并精确控制混合气体流量大小。 可通过电脑软件控制及采集流量信号 |
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